下载网

高新技术

芯片光刻胶关键技术被攻克 原材料国产配方自研

3DM游戏网 日期:

快科技10月25日消息,据华中科技大学官微消息,近日,该校武汉光电国家研究中心团队,在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。

据介绍,其研发的T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,实现了原材料全部国产,配方全自主设计,有望开创国内半导体光刻制造新局面。

公开资料显示,光刻胶是一种感光材料,用于芯片制造的光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。

当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。

由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。

武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。

相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。

团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”

更新于:9天前

相关资讯

  • 郭明錤:低价版Vision Pro量产延期到2027年以后

    据分析师郭明錤爆料,苹果原计划于2025年推出的低价版Vision Pro头显量产时间再次被推迟,或将延至2027年以后。与此同时,苹果将集中资源于新款Vision Pro的研发,并计划搭载M5芯片,以提升设备的整体性能。也就是说,2025年苹果的新款头戴显示设备仅会有处理器升级到M5的 Vision ..
  • Panther Lake明年推出 Intel未来CPU将不再封装内存

    在Intel放出2024年第三季度财报之后,他们的CEO Pat Gelsinger在财报电话会议上分享了未来客户端CPU的一些计划,他证实最新推出的Lunar Lake架构被设计成一个小众的一次性产品,没有直接的继任者。因为使用外部代工以及在把LPDDR5X内存封装在CPU上导致利润率很低,这影响了Intel对..
  • 昔日电商明星陨落?聚美优品官网瘫痪、APP两年未更新

    聚美优品运营公司北京科新近日被罚款2万元,原因是聚美优品网站和App系统老化、缺乏日常维护,导致平台故障,商品评价和评价板块均无法正常展示。根据实际测试,聚美优品官网目前仅显示“关于我们”界面,苹果手机的应用商店已无法搜索到聚美App。不过在小米、vivo等手机的应用市..
  • 英伟达将取代英特尔被纳入道琼斯工业平均指数

    标普道琼斯指数公司盘后发布声明称,英伟达将取代英特尔被纳入道琼斯工业平均指数,11月8日正式生效。今年以来,随着人工智能热潮席卷全球,英伟达股价飙升,截至本周五收盘,英伟达股价为每股135.40美元,今年以来已累计上涨超过170%,市值达3.32万亿美元,仅次于苹果公司。而纳..
  • 迪士尼成立新AI部门 探索人工智能、混合现实等新型技术的潜力

    IT之家11月2日消息,据路透社报道,华特迪士尼正在组建一个新的小组,以协调公司对人工智能和混合现实等新兴技术的使用,这家媒体巨头正积极探索AI等技术在电影、电视和主题公园等业务中的潜力。根据路透社当地时间周五获取的电子邮件,新成立的“技术赋能办公室”(OfficeofTechn..
  • 中国空间站科学实验镜像平台建成运行 地面复刻太空实验

    快科技11月2日消息,近日,中国空间站科学实验镜像平台进入正式运行阶段,将为空间站科学实验提供重要支撑。神十九乘组即将展开的大量的科学实验,前期都已经在这里完成了匹配验证实验。据介绍,中国空间站科学实验镜像平台配备了14个科学实验柜,以及相应的信息、配电、流体散热..
  • 夸克“AI搜题”产品升级 模型能力比肩OpenAI-o1

    夸克全面升级“AI搜题”产品,让搜题与解题的过程速度更快、能力更强。用户可通过手机、平板、电脑等设备搜到各类新题和难题,AI还会分步骤进行题目讲解,并支持用户随时提问。区别于同类产品完全依赖题库,夸克“AI搜题”是全网首家完成全面AI化升级的搜题产品,将AI能力深入到大..
  • 水下机器人“热海大1号”成功完成海试 遥控自主运行两种模式

    快科技今日(11月1日)消息,据报道,海南热带海洋学院研究团队研制的水下机器人“热海大1号”近日在三亚南山港成功完成下水测试。测试结果表明,从机械结构到电控系统的软件开发,“热海大1号”展现了高水平的技术集成能力。“热海大1号”具备遥控和自主运行两种模式,专为复杂地..
  • 微软:Win10用户快升Win11 明年10月14日终止支持

    11月1日消息,现在微软再次发出公告,敦促Windows 10用户快点升级Windows 11。“从2025年10月14日起,Windows 10将不再接收安全更新,如果用户继续使用Windows 10系统,无法应对不断演变和调整的恶意威胁。”微软在公告中强调。为了让更多Windows 10用户去升级,微软还重申了Win 1..
  • 全球化20年营收增长18倍!杨元庆:出海是联想最正确战略抉择之一

    10月31日消息,日前,2024中国企业高质量出海论坛在北京举行,联想集团董事长兼CEO杨元庆出席并演讲。杨元庆表示,联想用20年的时间成长为中国全球化程度最高的企业之一。据介绍,2000年,杨元庆带领团队前往美国,拜访微软、英特尔、惠普、思科等多家高科技企业。彼时,他下定决..

我要评论